根據(jù)IEST-RP-CC-034.1中的定義，對(duì)0.3μm粒徑粒子的最小攔截效率達(dá)到99.97%的過(guò)濾器被稱為高效過(guò)濾器，即High Efficiency Particulate Air，簡(jiǎn)稱HEPA。
高效空氣過(guò)濾器的常用濾料有超細(xì)玻璃纖維等，被廣泛應(yīng)用于潔凈室空調(diào)機(jī)組送風(fēng)末端、潔凈室末端以及各類層流設(shè)備當(dāng)中。
二、為什么要對(duì)高效過(guò)濾器進(jìn)行檢漏高效檢漏測(cè)試旨在驗(yàn)證潔凈室設(shè)施不存在旁路滲漏，過(guò)濾器不存在缺陷（過(guò)濾器介質(zhì)和密封框架上的小孔、其他損傷，以及過(guò)濾器邊框泄漏），從而確認(rèn)終端高效過(guò)濾器安裝良好。
高效過(guò)濾器作為攔截粒子的屏障，是潔凈室能否維持相應(yīng)潔凈等級(jí)的重要保障。當(dāng)高效過(guò)濾器存在漏點(diǎn)時(shí)，潔凈室的潔凈度等級(jí)將面臨超限的風(fēng)險(xiǎn)，產(chǎn)品的放行將會(huì)受到挑戰(zhàn)。
三、檢漏的時(shí)間、周期和方法時(shí)間：
當(dāng)調(diào)試新潔凈室和潔凈區(qū)時(shí)，或在現(xiàn)有安裝需要重新測(cè)試時(shí)，或在更換高效空氣過(guò)濾器后進(jìn)行需進(jìn)行高效檢漏測(cè)試。
另外，當(dāng)環(huán)境監(jiān)測(cè)顯示空氣質(zhì)量惡化、或當(dāng)產(chǎn)品無(wú)菌試驗(yàn)不合格、培養(yǎng)基模擬灌裝試驗(yàn)失敗時(shí)，高效檢漏可作為偏差調(diào)查的一部分。
周期：
對(duì)于A、B級(jí)區(qū)，高效檢漏的周期一般是半年進(jìn)行1次；C、D級(jí)區(qū)一般為1年進(jìn)行1次。兩次檢漏的間隔時(shí)間最長(zhǎng)不宜超過(guò)24個(gè)月。
方法：檢測(cè)方法分為氣溶膠光度計(jì)法及粒子計(jì)數(shù)器法。
基本方法為：在過(guò)濾器上風(fēng)向引入檢測(cè)氣溶膠，在過(guò)濾器的下風(fēng)向?qū)^(guò)濾器及其支撐架進(jìn)行掃描；或在下風(fēng)向的風(fēng)管中采樣。由于高效過(guò)濾器需要在大劑量的氣溶膠環(huán)境中才有可能暴露出漏點(diǎn)，因此我們通常在檢漏時(shí)采用氣溶膠加光度計(jì)的挑戰(zhàn)性測(cè)試方法：通過(guò)在過(guò)濾器上游發(fā)出遠(yuǎn)超自然塵濃度的人工塵，然后使用光度計(jì)檢測(cè)高效過(guò)濾器下游處的漏點(diǎn)位置或泄漏率。粒子計(jì)數(shù)器法則更多地應(yīng)用于過(guò)濾器廠家檢測(cè)MPPS（最易穿透粒徑）或?qū)Πl(fā)煙濃度有著更低要求的電子行業(yè)高效檢漏等場(chǎng)景。
應(yīng)當(dāng)注意的是，高效檢漏宜在風(fēng)速、風(fēng)量、靜壓差測(cè)試完成后進(jìn)行。